Tesis doctoral de Gomez San Roman Ruperto Javier
Se ha estudiado la oxidacion en plasma re de oxigeno a potencial flotante de peliculas delgadas de tasix (x comprendido entre 0.3 y 4.5) y de aleaciones de sige, en el rango de 400-800 c. Se han analizado las cineticas de oxidacion, naturaleza del oxido y fenomenos de transporte atomico, asi como las caracteristicas electricas de los oxidos crecidos, mediante curvas i-v, c-v y dispersion de la capacidad en funcion de la frecuencia. las cineticas de oxidacion son principalmente de tipo parabolico, indicando la difusion del oxigeno a traves del oxido, mediante un mecanismo de transporte atomico de corto alcance. la oxidacion de peliculas de tasix conduce a la formacion de sio2 o de un oxido mixto de sio2-ta2o5 dependiendo de la composicion de la pelicula, de la temperatura y la naturaleza del sustrato. la oxidacion de aleaciones de sige conduce a la formacion de sio2 en superficie con ritmos de oxidacion notablemente mayores que para el si puro, poniendo de manifiesto el efecto catalizador del ge.
Datos académicos de la tesis doctoral «Oxidacion en plasma de tasix y si1-xgex.«
- Título de la tesis: Oxidacion en plasma de tasix y si1-xgex.
- Autor: Gomez San Roman Ruperto Javier
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1992
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Rafael Perez Casero
- Tribunal
- Presidente del tribunal: José María Albella Martin
- Fernando Agullo Lopez (vocal)
- German Gonzalez Diaz (vocal)
- Carmen Nieves Afonso (vocal)