Oxidacion en plasma del silicio y de los siliciuros de titanio y tungsteno.

Tesis doctoral de Rafael Perez Casero

 

Datos académicos de la tesis doctoral «Oxidacion en plasma del silicio y de los siliciuros de titanio y tungsteno.«

  • Título de la tesis:  Oxidacion en plasma del silicio y de los siliciuros de titanio y tungsteno.
  • Autor:  Rafael Perez Casero
  • Universidad:  Autónoma de Madrid
  • Fecha de lectura de la tesis:  01/01/1990

 

Dirección y tribunal

  • Director de la tesis
  • Tribunal
    • Presidente del tribunal: Francisco Serra Mestre
    • Francisco Jaque Rechea (vocal)
    • Antonio Hernandez Cachero (vocal)
    • Sacedon Adelantado José Luis (vocal)

 

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