Tesis doctoral de Marta Morata Cariñena
En este trabajo se diseña, fabrican y caracterizan nuevas estructuras mecánicas micromecanizadas en tecnología del silicio. Estas estructuras se desarrollarán como substratos que, combinadas con las técnicas de depósito de materiales sensibles tipo polimérico, se utilizarán para la fabricación de sensores químicos. Estos sensores se aplicarán en la detección de gases volátiles. las estructuras se podrán implementar como componentes de un conjunto de sensores para fabricar una nariz electrónica. Para tal propósito, se estudiará la viabilidad de distintas tecnologías disponibles dentro de las tecnologías de micromecanización del silicio para la fabricación de las microestructuras y se utilizarán polímeros no conductores para la definición de la capa sensible del sensor.
Datos académicos de la tesis doctoral «Resonadores micromecanizados para su aplicación en la detección de gases«
- Título de la tesis: Resonadores micromecanizados para su aplicación en la detección de gases
- Autor: Marta Morata Cariñena
- Universidad: Autónoma de barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 23/06/2004
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Carles Cané Ballart
- Tribunal
- Presidente del tribunal: nuria Barniol beumala
- angel Rodriguez Martinez (vocal)
- Javier Gutierrez monreal (vocal)
- albert Romano (vocal)