Tesis doctoral de Enric Montane Borras
El principal objetivo de la tesis es realizar un proceso de diseño global para la obtención de un microsistema específico: un sensor de presión micromecanizado en volumen (desarrollado a partir de una tecnología cmos comercial y unos postprocesados para la micromecanización del dispositivo compatibles). el proceso de diseño incluye el desarrollo de estructuras de test para caracterizar las propiedades mecánicas de los materiales de la tecnología comercial utilizada: el proceso ecpd10 de atmel-es2. a partir del comportamiento experimental del sensor diseñado se ha obtenido un modelo eléctrico. se ha desarrollado también un circuito de condicionamiento eficiente en modo corriente y un sensor de temperatura para obtener la temperatura de trabajo del senssor de presión, que podrá ser utilizada por un sistema de compensación externo. Finalmente se ha obtenido la integración conjunta en el mismo integrado de los tres bloques diseñados.
Datos académicos de la tesis doctoral «Integracio monolitica de sensors de pressio i circuits de condicionament en una tecnología cmos comercial.«
- Título de la tesis: Integracio monolitica de sensors de pressio i circuits de condicionament en una tecnología cmos comercial.
- Autor: Enric Montane Borras
- Universidad: Barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1999
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Sebasti? Bota Ferragut
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Francisco Serra mestres
- diego Ramírez muñoz (vocal)
- joan Bausells roige (vocal)
- jordi Carrabina bordoll (vocal)