Tesis doctoral de Jaime Peon Fernandez
Se presenta un nuevo modelo teorico para la prediccion de la evolucion de perfiles de implantacion por bombardeo incluyendo los efectos de difusion mezclado atomico y sputtering como factores de distorsion sobre la prediccion mas elemental en base a la teoria lss de alcance de proyectiles en solidos.
Datos académicos de la tesis doctoral «Evolucion de perfiles de implantacion. mecanismos de distorsion.«
- Título de la tesis: Evolucion de perfiles de implantacion. mecanismos de distorsion.
- Autor: Jaime Peon Fernandez
- Universidad: Complutense de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1982
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Jiménez Rodríguez José Juan
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Sanchez Del Rio Carlos
- Elias Muñoz Merino (vocal)
- Maximino Rodriguez Vidal (vocal)
- José Campos Gutierrez (vocal)