Tesis doctoral de Manuel Perez Cagigal
Se ha llevado acabo un estudio sobre los diferentes fenomenos individuales que toman parte en el proceso de deposito denominado pulverizacion de radio frecuencia confeccionando un modelo de comportamiento para cada uno de ellos con el fin de poder predecir resultados cuantitativos. El resultado es la posibilidad de simular velocidades de crecimiento en funcion de la posicion en el sustrato y de las condiciones de potencia tension y presion para una configuracion diodo prefijada de antemano. Como caso particular se compararon valores de simulacion con los obtenidos experimentalmente para un blanco de sulfuro de cadmio.
Datos académicos de la tesis doctoral «Estudio del deposito de peliculas delgadas de sulfuro de cadmio en sistemas de pulverizacion diodo de radio frecuencia.«
- Título de la tesis: Estudio del deposito de peliculas delgadas de sulfuro de cadmio en sistemas de pulverizacion diodo de radio frecuencia.
- Autor: Manuel Perez Cagigal
- Universidad: Cantabria
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1982
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Valles Abarca José Antonio
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Garcia Garcia José Luis
- Emilio Santos Corchero (vocal)
- Maximino Rodriguez Vidal (vocal)
- Valles Abarca José Antonio (vocal)