Tesis doctoral de Sanz Martinez José M.
Mediante bombardeo con iones de argon y metodos superficiales de analisis como aes y xps se obtuvieron perfiles de concentracion de nb2o5 ta2o5 t1o2 zro2 hfo2 al2o3 obtenidos anodicamente. En el caso nb2o5/nb y ta2o5/ta se obtuvieron resultados cuantitativos sobre la formacion composicion y espesor de la capa superficial dañada por el bombardeo con iones en funcion de la energia cinetica de estos. Excepto en el caso de al2o3 el resto de los oxidos sufren un proceso de reduccion a causa del sputtering preferencial de los atomos de oxigeno.
Datos académicos de la tesis doctoral «Efectos del sputtering en los perfiles de concentracion obtenidos por aes y esca en peliculas anodicas«
- Título de la tesis: Efectos del sputtering en los perfiles de concentracion obtenidos por aes y esca en peliculas anodicas
- Autor: Sanz Martinez José M.
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1982
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Martinez Duart José Manuel
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Fernando Agullo Lopez
- Sanchez Gomez José Luis (vocal)
- Fernando Rueda Sanchez (vocal)
- Fernando Flores Sintas (vocal)