Tesis doctoral de Elmar Krassow Heiko
En vista de las soluciones ya existentes, se propuso una técnica nueva de encapsulación para sensores de presión. Se basa en el empaquetamiento del sensor en elastómero blando de silicona. El estrucutrado fotoligráfico del polímero facilita la encapsulación parcial y contacto directo entre el sensor y el medio de presión. El encapsulado se optimizó para la reducción de los esfuerzos mecánicos generados por la silicona mediante simulaciones numéricas basadas en el método de elementos finitos. Los esfuerzos mecánicos causados por el encapsulado se estimaron menores que el 0,5% de los correspondientes a la presión máxima aplicada. Los datos experimentales obtenidos con los sensores encapsulados confirmaron la influencia despreciable del encapsulado en las prestaciones del microsensor. Se mostró la protección del encapsulado de silicona con respecto a la corrosión en primeros experimentos. se obtuvo una alta fiabilidad con respecto a esfuerzos termo-mecánicos mediante la técnica de encapsulado de silicona mixta. El proceso, aparte de hacer uso de elastómero de silicona fotocurable, incluye el uso de un gel de silicona muy blando el que protege los hilos de microsoldadura contra esfuerzos termo-mecanicos. Este método se transfirió a nivel de oblea desarrollan un sistema de deposición del polímero. Obleas enteras conteniendo microsensores de presión se pre-encapsularon, depositando y estructurando mediante fotolitografía capas gruesas de elastómero del silicona de hasta unos milímetros de grosor. la tecnica conduce a unalto grado de automatización, alto rendimiento y una calidad uniforme y repetitiva-puntos clave de un proceso de encapsulado industrial de bajo coste. se incorporaron microsensores de presión en un elemento estrangulador de flujo utilizando las técnicas de encapsulado fotolitográfico de silicona. la integración del microsensor de presión en un elemento estrangulador resultó en una solución
Datos académicos de la tesis doctoral «Microsensor packanging for flow measurement with a novel differential pressure meter.«
- Título de la tesis: Microsensor packanging for flow measurement with a novel differential pressure meter.
- Autor: Elmar Krassow Heiko
- Universidad: Autónoma de barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 23/07/1999
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Francesca Campabadal Segura
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Francisco Serra mestres
- daniel Esteve (vocal)
- Luis Castañer muñoz (vocal)
- Santiago Marco colás (vocal)