Tesis doctoral de Rafael Nadal Guardia
La tesis presentada ha sido dirigida hacia la investigacion de los requerimientos energeticos de microestructuras capacitivas trabajando en modo actuador. ha sido demostrado que la actuacion en modo corriente permite una distribucion de energia totalmente diferente al modo tension. Mediante la actuacion en modo corriente se ha propuesto un nuevo metodo de control del electrodo movil de dichas microestructuras. En contraste con otros trabajos presentados, el nuevo metodo no requiere de especiales geometrias para los electrodos, actuacion en modo ac, o circuteria de implementacion de tecnicas switched-capacitador. la operación del metodo propuesto ha sido demostrada mediante resultados experimentales, confirmando las simulaciones realizadas. Operando en modo corriente, ha sido propuesto un nuevo método de adquisición de señales para micro-microfonos capacitivos. La nueva tecnica esta basada en la polarizacion del micro-microfonos en puntos posteriores al pull-in de tension. En dichos puntos, mediante modo corriente, el control es posible permitiendo baja tension de operación con una sensibilidad muy elevada. Para la demostracion experimental de los nuevos metodos propuestos,han sido fabricados dos circuitos integrados por el consorcio europractice. Paralelamente, se han fabricado estructurasde cantilever beam en la sala blanca de la upc, mediante micromecanizado de volumen. Ha sido propuesto un nuevo metodo de soldadura anódica si-cuarzo cuando ambos materiales presentan grosores semejantes. La estructura capacitiva ha sido finalmente obtenida uniendo el electrodo movil de silicio. Monocristalino con el electrodo fijo de cuarzo. El trabajo desarrollado ha sido de interes para la multinacional alemana infineon technologies ag, proporcionando estructuras de micro-microfono sobre las cuales han sido tomadas medidas experimentales.
Datos académicos de la tesis doctoral «Current mode drive of electrostatic microacuators«
- Título de la tesis: Current mode drive of electrostatic microacuators
- Autor: Rafael Nadal Guardia
- Universidad: Politécnica de catalunya
- Fecha de lectura de la tesis: 19/02/2001
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Angel Rodriguez Martinez
- Tribunal
- Presidente del tribunal: ramón Alcubilla gonzález
- esteve Daniel (vocal)
- aigner Robert (vocal)
- borras Enric montane (vocal)