Tesis doctoral de Angel Merlos Domingo
El objetivo principal de este trabajo ha sido el desarrollo de un proceso de fabricacion de sensores de ph tipo isfet con contactos posteriores o bsc-isfets con una tecnología compatible con los procesos de sala blanca actuales del cnm. Este proceso debia reunir los siguientes requisitos: simple, alto rendimiento, bajo coste, alta reproducibilidad, buenas prestaciones, y en la medida de la posible compatible cmos. La memoria se ha separado en dos partes. En la primera parte se hace un analisis del funcionamiento del isfet como sensor quimico, asi como sus limitaciones y sus aplicaciones. tambien se muestra el proceso de fabricacion del isfet de contactos frontales desarrollado en el cnm con una tecnología nmos y sus caracteristicas electricas y quimicas. La segunda parte de la memoria corresponde a los bsc-isfets. Aqui se analizan los aspectos tecnologicos de dichos dispositivos y se discuten diversas concepciones de los mismos. A continuacion se exponen las tecnologías (grabado anisotropico de silicio con tmah, la deposicion quimica selectiva de niquel y difusiones de gran profundidad) que ha sido necesario desarrollar para poder fabricar las diferentes concepciones de bsc-isfets. Finalmente se presentan los procesos de fabricacion y la caracterizacion electrica y quimica de los dispositivos bsc-isfet.
Datos académicos de la tesis doctoral «Desarrollo tecnologico para la fabricacion de isfets con contactos posteriores«
- Título de la tesis: Desarrollo tecnologico para la fabricacion de isfets con contactos posteriores
- Autor: Angel Merlos Domingo
- Universidad: Autónoma de barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1994
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Jaume Esteve Tintó
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Jordi Bartroli Molins
- Javier Gutierrez Monreal (vocal)
- Joan Ramon Morante Lleonart (vocal)
- Josep Samitier Marti (vocal)