Tesis doctoral de José Antonio Moreno Pastor
El trabajo se centra en el estudio composicional y estructural del óxido de silicio utilizando espectroscopía infrarroja ir y que fotoelectrones de rayos x (xps). se analizan las repercusiones de la geometría de capa habitual en microelectrónica sobre los espectros de infrarrojo y se ofrecen calibraciones a los valores de los parámetros de las bandas de absorción al variar al espesor de las capas y la intensidad de las bandas. Se proponen y validan procedimientos para la obtención de la función dieléctrica. Asimismo, se calcula un factor de calibración para obtener concentraciones de enlaces a partir de áreas de bandas. una amplia variedad de óxidos de silicio han sido depositados mediante apcvd, pecvd y lpcvd y analizados con los procedimientos de cálculo desarrollados. se desarrolla un modelo termodinámico que explica las probabilidades de enlace de las especies que componen el óxido, las cuales se han determinado experimentalmente mediante el análisis composicional. de la aplicación del modelo a los resultados experimentales se desprende un criterio de estabilidad termodinámica para los óxidos. la distribución del oxígeno en los óxidos ha sido determinada mediante xps y su evolución térmica ha sido explicada en términos de un modelo termodinámico basado en el intercambio de átomos de oxígeno entre los tetraedros centrados en átomos de silicio que componen el material. los procedimientos de análisis desarrollados han sido incorporados a una herramienta informática llamada capas, implementada en lenguaje c.
Datos académicos de la tesis doctoral «Análisis de oxidos de silicio y estructuras multicapa para aplicaciones microelectronicas«
- Título de la tesis: Análisis de oxidos de silicio y estructuras multicapa para aplicaciones microelectronicas
- Autor: José Antonio Moreno Pastor
- Universidad: Barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 14/09/2000
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Josep Samitier Marti
- Tribunal
- Presidente del tribunal: joan ramon Morante lleonart
- salvador Dueñas carazo (vocal)
- josep Monteserrat marti (vocal)
- Carlos Dominguez horna (vocal)