Tesis doctoral de Javier Macia Santamaria
En este trabajo se presenta un analisis por espectroscopia raman, complementada mediante tem, ftir y microscopia de salto de fase. Se han caracterizado diversas estructuras simox, obtenidas bajo distintos parametros tecnologicos, a fin de determinar la posible influencia de los parametros tecnologicos en la calidad final de las estructuras. Para una correcta interpretacion de los resultados experimentales ha sido necesario modelizar distintos aspectos, como son efectos de desorden, lo que se ha modelizado mediante un modelo de longitud de correlacion asi como ha sido necesario desarrollar un modelo de desconvolucion de las contribuciones de las distintas partes de las estructuras, a los espectros raman. se ha determinado la existencia de una clara correlacion de las caracteristicas de los espectros experimentales en las muestras no recocidas con la densid final de dislocaciones en las muestras recocidas, en funcion del estado de la superficie durante la implantacion. se ha concluido que el estado de la superficie, la dosis implantada, el metodo de implantacion y la proximidad de la interficie si/box son determinantes.
Datos académicos de la tesis doctoral «Caracterizacion estructural de tecnologías soi-simox mediante espectroscopia raman.«
- Título de la tesis: Caracterizacion estructural de tecnologías soi-simox mediante espectroscopia raman.
- Autor: Javier Macia Santamaria
- Universidad: Barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1996
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Alejandro Pérez Rodríguez
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Joan Ramon Morante Lleonart
- Josep Calderer Cardona (vocal)
- Juan Jimenez Lopez (vocal)
- Jaume Esteve Tintó (vocal)