Tesis doctoral de Esther Pascual Miralles
Este trabajo presenta una doble vertiente: por una parte, se ha diseñado y construido un elipsometro espectral (visible-uv) automatico que permite la caracterizacion optica de materiales en volumen, en forma de capa fina y de estructuras multicapa. Por otra parte, se ha realizado la caracterizacion optica sistematica de las capas finas de carbono amorfo hidrogenado (a-c:h) obtenidas mediante plasma de rf de gas metano en un amplio margen de condiciones tecnologicas: temperatura de substrato, tension de autopolarizacion, dilucion del metano con hidrogeno y argon, presion y flujo. Los parametros opticos de las capas de a-c:h dependen de la configuracion y de los enlaces que las componen y son, por tanto, unos indicativos utiles para su caracterizacion. Se han interpretado las propiedades opticas del a-c:h mediante la presencia de una distribucion de agrupamientos grafiticos de distinto tamaño. Se ha reproducido teoricamente el frente de absorcion de las capas de a-c:h, lo cual ha proporcionado informacion sobre la microestructura de las mismas. ademas, se ha estudiado otros materiales en forma de capa fina, como capas policristalinas de zn3p2, oro evaporado y tin. El estudio espectral ha proporcionado los parametros opticos y el analisis de la superficie de las muestras. Asi mismo, las evoluciones en el tiempo de las capas de zn3p2 se han seguido mediante la utilizacion de la elipsometria en tiempo real y se ha determinado la cinetica de la oxidacion superficial.
Datos académicos de la tesis doctoral «Caracterizacion optica de capas finas de carbono amorfo hidrogenado mediante elipsometria espectroscopica«
- Título de la tesis: Caracterizacion optica de capas finas de carbono amorfo hidrogenado mediante elipsometria espectroscopica
- Autor: Esther Pascual Miralles
- Universidad: Barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1992
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Enric Bertran Serra
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Eusebio Bernabeu Martinez
- Francesc Pi Vila (vocal)
- Joan Esteve Pujol (vocal)
- Francesca Campabadal Segura (vocal)