Tesis doctoral de Francisco Javier Jimenez Leube
El objetivo de esta tesis es el desarrollo de una tecnología base para la fabricación de detectores de siliciuro de iridio reproducibles y homogéneos en sus características. En función de la bilbiografía y de nuestra experiencia previa se determina como punto crítico la síntesis de la película de siliciuro de iridio. se desarrollan las rutas de procesos tecnológicos que permiten fabricar dioldos y detectores de barrera schottky de siliciuro de iridio con diferentes estructuras: con y sin anillo de gaurda, para iluminación frontal o posterior y con cavidad dieléctrica resonante para optimizar la respuesta óptica de los detectores. se ha estudiado del efecto de lso tratamientos térmicos (la temperatura, duración y composición de la atmósfera en la que se realizan) en horno de flujo constante, en el interior del sistema de evaporación(in-situ) y mediante tratamiento térmico rápido (rtp). Dado que los métodos tradicionales de caracterización (rbs, sims, auger, tem) no permiten analizar la itercara silicio-siliciuro conla suficiente resolución lateral y/o en profunidad ha sido necesario adaptar un método experimetnal indirecto: el análisis de las características tensión-corriente en función de la temperatura de medida (espectroscopía i-v-t) en el rango de temperaturas donde la emisión termoiónica es dominante. El estudio de las características de los diodos fabricados sobre sustratos tipo-n y su correlación con los resultados obtenidos de la caracterización metalúrgica permite determianr si la intercara silicio-siliciuro resultante es homogénea. las conclusiones de este estudio permiten definir como métodos óptimos para la fabricación de los detectores los tratamientos mediante rtp en atmósfera de ar y los tratamientos en el interior del sistema de evaporación a temperaturas inferiores a 400ºc. como verificación de la idoneidad del método experimental y de las conclusiones extraídas del estu
Datos académicos de la tesis doctoral «Contribución al desarrollo de barreras schottky de siliciuro y su aplicación a la detección de radiación infrarroja«
- Título de la tesis: Contribución al desarrollo de barreras schottky de siliciuro y su aplicación a la detección de radiación infrarroja
- Autor: Francisco Javier Jimenez Leube
- Universidad: Politécnica de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 12/04/2000
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Jesús Sanz Maudes
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Miguel Aguilar fernandez
- Manuel Martinez-duart jose (vocal)
- José María Ruiz perez (vocal)
- joan ramon Morante lleonart (vocal)