Contribución al desarrollo de barreras schottky de siliciuro y su aplicación a la detección de radiación infrarroja

Tesis doctoral de Francisco Javier Jimenez Leube

El objetivo de esta tesis es el desarrollo de una tecnología base para la fabricación de detectores de siliciuro de iridio reproducibles y homogéneos en sus características. En función de la bilbiografía y de nuestra experiencia previa se determina como punto crítico la síntesis de la película de siliciuro de iridio. se desarrollan las rutas de procesos tecnológicos que permiten fabricar dioldos y detectores de barrera schottky de siliciuro de iridio con diferentes estructuras: con y sin anillo de gaurda, para iluminación frontal o posterior y con cavidad dieléctrica resonante para optimizar la respuesta óptica de los detectores. se ha estudiado del efecto de lso tratamientos térmicos (la temperatura, duración y composición de la atmósfera en la que se realizan) en horno de flujo constante, en el interior del sistema de evaporación(in-situ) y mediante tratamiento térmico rápido (rtp). Dado que los métodos tradicionales de caracterización (rbs, sims, auger, tem) no permiten analizar la itercara silicio-siliciuro conla suficiente resolución lateral y/o en profunidad ha sido necesario adaptar un método experimetnal indirecto: el análisis de las características tensión-corriente en función de la temperatura de medida (espectroscopía i-v-t) en el rango de temperaturas donde la emisión termoiónica es dominante. El estudio de las características de los diodos fabricados sobre sustratos tipo-n y su correlación con los resultados obtenidos de la caracterización metalúrgica permite determianr si la intercara silicio-siliciuro resultante es homogénea. las conclusiones de este estudio permiten definir como métodos óptimos para la fabricación de los detectores los tratamientos mediante rtp en atmósfera de ar y los tratamientos en el interior del sistema de evaporación a temperaturas inferiores a 400ºc. como verificación de la idoneidad del método experimental y de las conclusiones extraídas del estu

 

Datos académicos de la tesis doctoral «Contribución al desarrollo de barreras schottky de siliciuro y su aplicación a la detección de radiación infrarroja«

  • Título de la tesis:  Contribución al desarrollo de barreras schottky de siliciuro y su aplicación a la detección de radiación infrarroja
  • Autor:  Francisco Javier Jimenez Leube
  • Universidad:  Politécnica de Madrid
  • Fecha de lectura de la tesis:  12/04/2000

 

Dirección y tribunal

  • Director de la tesis
    • Jesús Sanz Maudes
  • Tribunal
    • Presidente del tribunal: Miguel Aguilar fernandez
    • Manuel Martinez-duart jose (vocal)
    • José María Ruiz perez (vocal)
    • joan ramon Morante lleonart (vocal)

 

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