Tesis doctoral de María Villarroya Gaudó
El objetivo de esta tesis es la implementación de sensores de alta resolución, formados por sistemas micro/nano electromecánicamente integrados monolíticamente, basados en palanca como elemento transductor y utilizando para la fabricación tecnologías de silicio. En concreto, se determinará la tecnología de fabricación óptima para la implementación de sensores basados en palancas, para aplicaciones en aire o vacio y líquido. Se establecerá las técnicas de detección y excitación adecuados para los sensores basados en palancas. Y se realiza la compatibilización de la tecnología de fabricación de sensores basados en palancas. Y se realiza la compatibilización de la tecnología de fabricación de sensores con la tecnología cmos, de forma que se consiga la integración monolitica del sistema. para ello, se fabrican tres demostradores distintos, dos de ellos senores de masa formados por palancas resonantes y un tercer sistema capaz de trabajar en medio líquido para detección electroquímica. en el primer demostrador se fabrica un sensor de masa formado por una matriz de palancas de polisilicio integrado monolíticamente con la circuitería de lectura. Para ello se utiliza como capa estructural uno de los niveles de polisilicio de la tecnología cmos utilizada (tecnología cmos cnm25 2p, 2m con dos niveles de metal y dos niveles de polisilicio). Se han diseñado matrices de cuatro y ocho palancas que permiten realizar medidas mutliplexadas de cada una de las palancas independientemente y medidas diferenciales. de forma que por un lado se aumenta la versatilidad del sistema y al realizar medidas diferenciales mejora la resolución. Durante el proceso cmos se definen las áreas de fabricación y como post-proceso se definen los transductores mecánicos. Tras caracterización eléctrica de los sistemas, de este demostrador se concluye la integración monolítica es posible de un sistema versátil, con resolución en masa in
Datos académicos de la tesis doctoral «Diseño y fabricación de sistemas micro/nano electromecánicos interados monolíticamente para aplicaciones de sensores de masa y sensores biológicos con palancas como elementos transductores«
- Título de la tesis: Diseño y fabricación de sistemas micro/nano electromecánicos interados monolíticamente para aplicaciones de sensores de masa y sensores biológicos con palancas como elementos transductores
- Autor: María Villarroya Gaudó
- Universidad: Autónoma de barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 21/07/2005
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Nuria Barniol Beumala
- Tribunal
- Presidente del tribunal: gabriel Abadal berini
- eduard Figueras costa (vocal)
- alejandro Pérez rodríguez (vocal)
- Tamayo de Miguel Javier (vocal)