Tesis doctoral de Francisco Javier Gomez Arribas
Se han depositado capas de aleaciones silicio-carbono y silicio-carbono-nitrogeno sobre silicio, por deposicion quimica en fase vapor, asistida por plasma de resonancia ciclotron de electrones (ecr-cvd), a baja temperatura de sustrato. se han conseguido una completa deshidrogenacion de las capas de a-sic:h empleando tratamientos termicos rapidos a alta temperatura en vacio. se han optimizado las condiciones de deposicion consiguiendose un crecimiento de capas de sic microcristalino con temperaturas de sustrato inferiores a 500 grados c. se han conseguido capas de sicxny uniformemente depositadas y que no presentan problemas elasticos de relajacion o compresion. Se ha obtenido una relacion entre las propiedades opticas de las capas depositadas con los parametros de deposicion y mas concretamente se ha enconstrado que son controlables con la variacion de la razon entre los gases precursores.
Datos académicos de la tesis doctoral «Estudio de aleaciones silicio-carbono depositadas mediante tecnicas asistidas por plasma de resonancia ciclotron de electrones.«
- Título de la tesis: Estudio de aleaciones silicio-carbono depositadas mediante tecnicas asistidas por plasma de resonancia ciclotron de electrones.
- Autor: Francisco Javier Gomez Arribas
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1997
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Juan Piqueras Piqueras
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Martinez Duart José Manuel
- Juan Jimenez (vocal)
- German Gonzalez Diaz (vocal)
- Martil De La Plaza Ignacio (vocal)