Tesis doctoral de Garcia Poza M. Mar
En este trabajo se ha estudiado el proceso de deposición de películas de diamante por mjcvd sobre obleas de silicio pulidas. Con el fin de aumentar la densidad de nucleación se ha sometido el sustrato a dos tratamientos previos: rayado y aplicación de un voltaje. Se han estudiado ambos tratamientos utilizando técnicas de análisis de alta resolución como la espectroscopía xanes y la microscopía de fuerzas (afm). Se ha establecido un modelo de nucleación capaz de explicar los resultados experimentales obtenidos. También se ha estudiado la influencia de la composición de la mezcla gaseosa en la etapa de crecimiento. por último, se ha investigado el efecto de la adición de o2 a la mezcla de ch4 y h2, donde se muestra la posibilidad de conseguir velocidades de desposición más altas, manteniendo la calidad de las películas, mediante la adición de pequeñas cantidades de oxígeno. Este resultado se atribuye al mayor aporte de especies que contienen carbono, así como a la presencia de nuevas especies atancantes de la componente no-diamante de las películas..
Datos académicos de la tesis doctoral «Estudio de la nucleacion y el crecimiento de laminas de diamante.«
- Título de la tesis: Estudio de la nucleacion y el crecimiento de laminas de diamante.
- Autor: Garcia Poza M. Mar
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1999
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Gomez Aleixandre Fernandez Cristina
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Martinez duart José manuel
- joan Esteve pujol (vocal)
- alfonso Vazquez vaamonde (vocal)
- Francisco Javier Piqueras de noriega (vocal)