Tesis doctoral de Fidel Vega Lerin
El trabajo presenta un estudio de la cinetica de obtencion de oxidos de semiconductor y semimetal en lamina delgada.Se utilizan dos procedimientos experimentales, la deposicion de laminas por ablacion laser y la irradiacion de materiales con laser, ambos en atmosfera reactiva de oxigeno. El trabajo establece una union entre la cinetica del proceso de obtencion de los oxidos y sus propiedades opticas y de estegniometria. Se han utilizado medidas opticas en tiempo real para seguir «dinamicamente» el proceso de formacion y crecimiento del oxido y medidas opticas y de haces de iones (rbs,nra) para caracterizar sus propiedades. los resultados muestran los mecanismos responsables de las propiedades observadas en los procesos de obtencion y en los oxidos: presencia de especies energeticas, relacion de flujos de atomos en el substrato, activacion en fase liquida y cambio dinamico de propiedades opticas.
Datos académicos de la tesis doctoral «Estudio optico de la cinetica de obtencion de oxidos de semiconductor y semimetal en lamina delgada por ablacion e irradiacion laser.«
- Título de la tesis: Estudio optico de la cinetica de obtencion de oxidos de semiconductor y semimetal en lamina delgada por ablacion e irradiacion laser.
- Autor: Fidel Vega Lerin
- Universidad: Complutense de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1993
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Afonso Rodriguez Carmen Nieves
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Rojo Alaminos Juan M.
- Luis Viña (vocal)
- Juan Piqueras (vocal)
- Aurelio Climent Font (vocal)