Tesis doctoral de Villalvilla Soria José Moises
En esta tesis se presenta un estudio del efecto del bombardeo ionico sobre el grabado seco de gaas con haces ionicos anchos procedentes de descargas de mezcla de gases ch4/h2 utilizando la tecnica de grabado por haz ionico reactivo (ribe). Se realiza un estudio de la fisica del sistema grabador por haz de iones disponible en el laboratorio, describiendo su instrumentacion y operacion, encontrandose unos valores experimentales de intensidad del haz comprendidos entre 5 y 60 ma con una densidad de corriente en el centro del haz entre 0.05 y 1.8 ma/cm2. Se muestran los resultados experimentales del grabado de gaas, tanto para el caso de trabajar con un gas inerte, ar (rendimiento de grabado= 1900 a/min/ma/cm2), como para una mezcla de gases reactivos, ch4/h2, encontrandose en este ultimo caso 3 comportamientos diferentes: bien existencia de un grabado (ritmo = 100 a/min), bien existencia de un deposito carbonoso. Se propone un modelo sencillo para explicar el mecanismo de grabado de gaas por un haz de iones de ch4/h2 basado en la formacion de un film superficial sobre el blanco y que este al ser bombardeado potenciara la reaccion quimica interficial entre film y sustrato. por ultimo, se presenta un resumen y las principales conclusiones de esta tesis, junto con su proyeccion futura.
Datos académicos de la tesis doctoral «Grabado seco de gaas: influencia del bombardeo ionico.«
- Título de la tesis: Grabado seco de gaas: influencia del bombardeo ionico.
- Autor: Villalvilla Soria José Moises
- Universidad: Alicante
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1992
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Valles Abarca José Antonio
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Angel Linares Solano
- Carlos Dominguez (vocal)
- Miguel ángel Yus Astiz (vocal)
- Dolores Golmayo (vocal)