Tesis doctoral de Lorenzo Calvo Barrio
El objetivo principal de este trabajo es el estudio de la síntesis de sic por implantación iónica de c en substratos de si y estructuras sige/si. Para ello se desarrolla una completa caracterización estructural y físico-química de los distintos procesos, a la vez que se aborda la obtención de un material utilizable como base para la realización de dispositivos micromecánicos simples. El estudio se ha estructurado en tres partes. la primera está dedicada a la síntesis y recristalización de capas de sic amorfo, para lo que previamente se ha caracterizado el comportamiento de 6h-sic comercial frente a procesos de implantación, y despues se ha estudiado en detalle tanto la disposición de los enlaces químicos existentes en función del contenido de c introducido, como la recristalización térmica y por ibiec (cristalización epitaxial inducida por haces iónicos). en la segunda parte se ha tratado la síntesis directa de sic cristalino, realizando los procesos de implantación a 500 grados c con el fin de evitar la amortización del substrato. de esta forma se ha sintentizado unacapa continua y estequiométricade sic enterrada en el substrato de si que ha permitido la fabricación de estructuras de test micromecánicas, como membranas y puentes. la realización de este tipo de estructuras, a partir de las capas sintetizadas por implantación iónica, constituye uno de los principales objetivos alcanzados en este trabajo, demostrando la viabilidad de los procesos de micromecanizado de las capas. Por último, la tercera parte del trabajo está dedicada al estudio de los procesos de implantación en capas de sige, para investigar la dependencia de las fases sintetizadas en el proceso de implantación con los parámetros del substrato como el estrés y la composición química y la constante de red.
Datos académicos de la tesis doctoral «Ion beam synthesis of silicon-carbon structures and related materials.«
- Título de la tesis: Ion beam synthesis of silicon-carbon structures and related materials.
- Autor: Lorenzo Calvo Barrio
- Universidad: Barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1999
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Alejandro Pérez Rodríguez
- Tribunal
- Presidente del tribunal: joan ramon Morante lleonart
- enrique Calleja pardo (vocal)
- Juan Jimenez lopez (vocal)
- wolfgang Skorupa (vocal)