Tesis doctoral de Susana Gimeno Llorens
Mediante pulverización catódica rf magnetrón se han depositado capas de nitruro de boro hexagonal y cúbico. El depósito de la fase cúbica se consigue en atmósferas ricas en argón (>85%ar-<15%n2) y polarizando suficientemente el sustrato (a partir de -60v), ya que es necesario un cierto bombardeo iónico sobre la capa, que viene dado por los iones del plasma que son acelerados hacie el sustrato. La polarización de éste se consigue gracias a un sistema que consiste en sintonizar un fenómeno de resonancia entre el dispositivo autopolarizador y la capacidad entre el sustrato y el plasma. el parámetro más importante en el depósito de la fase cúbica es el momento incidente por átomo depositado, que ya incluye en su definición los parámetros densidad iónica y energía de los iones. Para este parámetro, se ha establecido una ventana de valores en los que se obtiene nitruro de boro cúbico sin entrar en zona de resputtering. se han obtenido cpaas con más de un 905 de fase cúbica y se han llevado a cabo una serie de experimentos dirigidos a mejorar la estabilidad de las capas. De entre ellos, el recubrimiento de nitruro de boro cúbico con hexagonal, el depóstico con un 18% de hidrógeno en el gas y sobre capas intermedias de 40a de níquel y silicio dopado con boro han dado lugar a capas más duradera en contacto con la atmósfera.
Datos académicos de la tesis doctoral «Obtención de capas finas de nitruro de boro hexagonal y cúbico por pulverización catódica rf magnetrón«
- Título de la tesis: Obtención de capas finas de nitruro de boro hexagonal y cúbico por pulverización catódica rf magnetrón
- Autor: Susana Gimeno Llorens
- Universidad: Barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 25/10/2000
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Arturo Lousa Rodríguez
- Tribunal
- Presidente del tribunal: josep María Guilemany casadamon
- josep Costa balanzat (vocal)
- José Luis Morenza gil (vocal)
- José María Albella martin (vocal)