Tesis doctoral de Lopez Ludeña José Manuel
La tesis consiste principalmente en la preparación y analisis de peliculas de titanio (ti), de nitruro de titanio (tin) y de carburo de titanio (tic) y carbo-nitruro de titanio (ticn). La importancia de este tipo de peliculas se encuentra en las multiples aplicaciones que existen en la industria, microelectronica, etc., Debido a que estos materiales presentan excelentes propiedades tribologicas, como una alta dureza, una fuerte resistencia a la corrosión, un bajo coeficiente de rugosidad (friccion), etc. la preparación de estas peliculas se ha realizado mediante la tecnica de deposicion ibad (ion beam assited deposition). Esta tecnica consiste en el bombardeo simultaneo de iones (de ar o de n, según el caso) mientras se produce la evaporacion de la materia prima mediante el cañon de electrones. los analisis de las muestras han aportado resultados importantes sobre las propiedades tanto estructurales y morfologicas, asi como mecanicas. dichos analisis se han realizado mediante la siguientes tecnicas: a)xrd (x-ray difraction): para determinar la cristalinidad de la muestra, asi como las direcciones de crecimiento y de composicion estequiometrica. b)aes (auger electron spectroscopy): para determinar la relación atomica entre los elementos asi como la relacion elemental en los enlaces. c)sem y afm(scattering electron microscopy y atomic force microscopy): para determinar la estructura morfologica de la superficie de los materiales depositados. d)nanoindentación: para determinar las propiedades mecanicas como la dureza y la elasticidad del material. a partir de todas las medidas realizadas en este trabajo, se han obtenido resultados muy importantes. Se han obtenido peliculas de alta dureza y baja contaminacion: en el caso del ti la dureza ha sido aproximadamente de 7 gpa y la contaminación inferior a 4% de oxigeno, en el caso del tin se ha obtenido una dureza de alrededor de 26 gpa en substratos de si y de 32 gpa en substra
Datos académicos de la tesis doctoral «Preparacion y caracterizacion de peliculas delgadas de compuestos con enlace tipo metalico-covalente a partir de la fase vapor«
- Título de la tesis: Preparacion y caracterizacion de peliculas delgadas de compuestos con enlace tipo metalico-covalente a partir de la fase vapor
- Autor: Lopez Ludeña José Manuel
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 06/02/2001
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- José María Albella Martin
- Tribunal
- Presidente del tribunal: jose Garcia sole
- Damborenea gonzalez Juan José (vocal)
- Fernando Rueda sanchez (vocal)
- isabel Montero herrero (vocal)