Tesis doctoral de Jose Perez Rigueiro
El objetivo del trabajo ha sido la obtencion del esquema de metalizacion si/tisi2/tin mediante tratamientos termicos rapidos.Con este objetivo se ha estudiado el proceso basico de formacion del siliciuro a partir del sistema ti/si. Las contribuciones mas originales a esta parte han sido las medidas electricas a baja temperatura y el uso de la microscopia electronica de transmision de alta resolucion para estudiar la pelicula de siliciuro y la intercara silicio/siliciuro. para la obtencion del esquema si/tisi2/tin se han propuesto tres procesos: nitruracion del siliciuro de titanio y sistema si/tinx/ti, comprobandose que con todos ellos se alcanza la estructura final buscada.
Datos académicos de la tesis doctoral «Preparacion y caracterizacion del esquema de metalizacion al silicio tisi2/tin.«
- Título de la tesis: Preparacion y caracterizacion del esquema de metalizacion al silicio tisi2/tin.
- Autor: Jose Perez Rigueiro
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 01/01/1996
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Carmen Jimenez Arevalo
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Sanz Martinez José María
- Nieves Afonso Carmen Nieves (vocal)
- José María Albella Martin (vocal)
- German Gonzalez Diaz (vocal)