Tesis doctoral de Barbadillo Pérez De Ayala Lucía
Este trabajo se centra en la búsqueda de técnicas alternativas para la síntesis de compuestos como el nitruro de carbono y el nitruro de boro, de gran interés debido a sus propiedades físicas y/o electrónicas, pero en cuya obtención se han encontrado dificultades tecnológicas. Se busca también la obtención de ternarios, como el nitrocarburo de silicio y el nitrocarburo de boro, en los que la inclusión de un tercer elementos facilita la síntesis y estabiliza las soluciones. se han llevado a cabo ensayos de deposición química en fase vapor asistida por plasma de resonancia ciclotrón de electrones (ecr-pecvd) de películas de nitrocarburo de silicio empleando como precursores silano, metano y nitrógeno, y argón como diluyente para la estabilización de los plasmas. los depósitos obtenidos resultaron estar compuestos mayoritariamente de nitruro de silicio subestequiométrico con enlaces puente formados por grupos imino y nitrilo. se ensayaron también depósitos empleando la misma técnica con metano, nitrógeno y neón, y se obtuvieron capas de cnx amorfas y en las que el exceso de carbono tendía a acumularese en inclusiones grafíticas. otra técnica experimentada es la implantación iónica. En una primera fase se implantó nitrógeno y carbono, formándose una capa enterrada de nitrógeno e inclusiones de carburo que se acumulaban a los lados de ésta. si bien en este caso no se obtuvo la formación de compuestos tipos sicn los resultados son aplicables a la formación de estructuras «silicon-on-insulator» (soi), como sustratos «compliant», o como capas «buffer» para el crecimiento epitaxial de compuestos con un parámetro de red menor al del silicio. por último, se ha experimentado con la implantación de nitrógeno, carbono y boro en silicio. En estas muestras se han detectado incluisones de nitruro de boro e indicios que sugieren la posible formación de ternarios. Además las muestras han resultado ser lumin
Datos académicos de la tesis doctoral «Síntesis de compuestos de boro, carbono, nitrógeno y silicio«
- Título de la tesis: Síntesis de compuestos de boro, carbono, nitrógeno y silicio
- Autor: Barbadillo Pérez De Ayala Lucía
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 20/09/2002
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Juan Piqueras Piqueras
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Sanz martínez José m.
- germán González díaz (vocal)
- Rafael Garcia roja (vocal)
- Juan ignacio Jiménez lópez (vocal)