Tesis doctoral de Carlos Alberto Calaza Cabanas
Esta tesis presenta los resultados obtenidos en el desarrollo de microsistemas ópticos diseñados para la detección de gases mediante la absorción selectiva de radiación infrarroja. El trabajo desarrollado se ha organizado en tres partes: se ha llevado a cabo una modelización de un sistema óptico de detección de gases compuestos por los microsistemas ópticos prouestos, utilizando modelos analíticos y numéricos del comportamiento de los diferentes componentes. se ha simulado la respuesta óptica del sistema a diferentes muestras gaseosas y se ha estimado la capacidad de detección del sistema mediante la utilización de diferentes técnicas de procesado de señal. se han diseñado dos microsistemas ópticos para la detección de gases, un filtro óptico sintonizable y un detector de radiación infrarroja. Como filtro óptico sintonizable se ha utilizado un interferómetro fabry-perot, que se ha obtenido mediante una tecnología de micromecanizado superficial. esta tecnología de micromecanizado superficial. Esta tecnología de microfabricación ha sido adecuada para cumplir los requisitos ópticos específicos de la aplicación. Una vez establecido el proceso de fabricación se ha evaluado el comportamiento de diferentes alternativas de diseño mediante la simulación mecánica y eléctrica de su comportamiento, basada en el método de los elementos finitos. Se han fabricado filtros con diferentes geometrías basados en las diferentes alternativas tecnológicas propuestas, y se ha caracterizado de forma satisfactoria su funcionamiento. el detector de infrarrojo diseñado, basado en una tecnología de fabricación estándar para circuitos electrónicos cmos, es una termopila, que utiliza termopares de polisilicio/aluminio para la detección del incremento de temperatura que produce la absorción de radiación infrarroja. Se propone un pre-proceso de fabricación para generar un elemento absorbedor basado en silicio dopado, y
Datos académicos de la tesis doctoral «Design, modelling, fabrication and test of moems for optical gas detection«
- Título de la tesis: Design, modelling, fabrication and test of moems for optical gas detection
- Autor: Carlos Alberto Calaza Cabanas
- Universidad: Barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 19/03/2003
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Mauricio Moreno Sereno
- Tribunal
- Presidente del tribunal: josep Calderer cardona
- jean-yves Fourniols (vocal)
- enric Cabruja casas (vocal)
- eduard Llobet valero (vocal)