Caracterización in situ de la morfología y los procesos de relajación durante el crecimiento mediante epitaxia por haces moleculares de heteroestructuras de semiconductores iii-v

Tesis doctoral de M. José González Sagardoy

En este trabajo de tesis doctoral se ha abordado el estudio in situ de dos aspectos fundamentales en el crecimiento de sistemas heteroepitaxiales con diferencia de parámetros de red: los procesos de relajación y la evolución de la morfología. para llevar a cabo el seguimiento de la morfología hemos utilizado la técnica de dispersión de luz, mientras que la evolución de la relajación ha sido determinada mediante la monitorización óptica, a través de la deflexión de un haz láser, de la curvatura inducida en el substrato por la tensión a que se ve sometida la capa. Puesto que los mecanismos que intervienen en la relajación de los sistemas y en la evolución de la morfología dependen de que la diferencia de parámetros de red entre los constituyentes del sistema heteropitaxial sea grnede (***) o pequeña (***), hemos analizado ambos tipos de sistemas. En concreto, hemos estudiado el sistema in0,2ga0,8as/gaas (001) (*** ), que se caracteriza porque la relajación se produce mediante la formación de una red ordenada de dislocaciones de desacople en la intercara y por el desarrollo en la intercara y por el desarrollo en la superficie de una morfología de surcos entrecruzados, y el sistema inas/inp (001) (***), donde la relajación se produce de manera elástica a través de la formación de hilos cuánticos.

 

Datos académicos de la tesis doctoral «Caracterización in situ de la morfología y los procesos de relajación durante el crecimiento mediante epitaxia por haces moleculares de heteroestructuras de semiconductores iii-v«

  • Título de la tesis:  Caracterización in situ de la morfología y los procesos de relajación durante el crecimiento mediante epitaxia por haces moleculares de heteroestructuras de semiconductores iii-v
  • Autor:  M. José González Sagardoy
  • Universidad:  Complutense de Madrid
  • Fecha de lectura de la tesis:  11/11/2002

 

Dirección y tribunal

  • Director de la tesis
    • Luisa González Sotos
  • Tribunal
    • Presidente del tribunal: Juan manuel Rojo alaminos
    • enrique Calleja pardo (vocal)
    • Sánchez gil José Antonio (vocal)
    • (vocal)

 

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