Tesis doctoral de Lopez Bosque M. Jesús
El objetivo de este trabajo es la fabricación de un sistema sensor capaz de trabajar a alta temperatura con bajo consumo. La incorporación de la circutería en el mismo chip permite reducir su tamaño y tener un encapsulado más compacto que en el caso híbrido. en muchas aplicaciones los sensores de gases están sometidos a numerosas vibraciones y aceleración, motivo por el cual es necesario desarrollar sistemas sensores robustos con un alto grado de selectividad. En este trabajo se va a fabricar un sistema sensor para el control de la calidad del aire cabinas de coches y aviones. la estructura de vidrio/silicio propuesta para la integración de una matrizde sensores de gases semiconductores con la circuitería cmos asociada posee todos los requisitos citados anteriormente: alta robustez, bajo consumo, integración monolítica y un alto grado de selectividad gracias a la combinación de varios materiales sensibles en un mismo chip. los principales puntos que se tratan en la tesis son: * descripción de las estructuras de vidrio/silicio que servirán de soporte mecánico para la integración de un sistema para la detección de gases. * diseño y simulación de los dispositivos. * estudios tecnológicos llevados a cabo para la fabricación de la matriz de sensores de gases. * estudios de compatibilidad de las tecnologías cmos y de sensores de gases. * fabricación de los dispositivos. * caracterización de los dispositivos: resultados experimentales. * conclusiones de esta memoria y las posibles líneas de investigación que se han abierto a partir de este trabajo.
Datos académicos de la tesis doctoral «Desarrollo de microestructuras de vidrio/silicio para la fabricación de sensores de gases con circuitería cmos asociada«
- Título de la tesis: Desarrollo de microestructuras de vidrio/silicio para la fabricación de sensores de gases con circuitería cmos asociada
- Autor: Lopez Bosque M. Jesús
- Universidad: Autónoma de barcelona
- Fecha de lectura de la tesis: 19/02/2004
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Carles Cané Ballart
- Tribunal
- Presidente del tribunal: montserrat Nafría maqueda
- Horrillo gí¼emes María del carmen (vocal)
- angel Dieguez barrientos (vocal)
- sebasti? Bota ferragut (vocal)