Tesis doctoral de Marta Tello Ruiz
En esta tesis se abordan diversos factores que influyen en la resolución de los motivos obtenidos mediante nanolitografía de oxidación local. Se ha estudiado la influencia del modo de trabajo del microscopio de fuerzas así como del substrato y el líquido del menisco que se forma entre la punta y la muestra. los resultados permiten concluir que el modo de no-contacto con modulación de amplitud es el óptimo para realizar la oxidación local ya que produce los óxidos con mayor relación altura/anchura. En relación al substrato se demuestra que las leyes cinéticas que rigen la oxidación son generales y no dependen del material estudiado. Las diferencias que se encuentran en parámetros tales como la velocidad de oxidación o el campo umbral se pueden explicar teniendo en cuenta las propiedades físicas de los substratos. otro factor importante a tener en cuenta es el menisco que se forma entre la punta y la muestra y que tiene un papel fundamental en el proceso de oxidación. en este trabajo, en lugar de agua, que es el líquido que se utiliza normalmente para formar los cuellos, se ha empleado un alcohol orgánico, el etanol. los resultados muestran que tanto la cinética como el producto de reacción son diferentes a los obtenidos en el agua. De esta manera se amplía la capacidad del microscopio de fuerzas para producir reacciones a escala nanométrica. además de estos factores, se ha estudiado también el límite de resolución de esta técnica de nanolitografía en las condiciones óptimas y con las herramientas actuales. Los resultados muestran que es posible fabricar estructuras empaquetadas con una periodicidad de 13 nm y óxidos individuales con un tamañio de unos 7 nm, límite difícilmente alcanzable por otras técnicas de litografía actuales. por último se han explorado las aplicaciones de la oxidación local en el campo del crecimiento estructurado de moléculas orgánicas conjugadas. Se ha demostrado que
Datos académicos de la tesis doctoral «Factores que influyen en la nanolitografíade oxidación local: resolución, cinética comparativa y nanofabricación«
- Título de la tesis: Factores que influyen en la nanolitografíade oxidación local: resolución, cinética comparativa y nanofabricación
- Autor: Marta Tello Ruiz
- Universidad: Autónoma de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 11/06/2004
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Ricardo García García
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Sanz martínez José María
- francesc Perez murano (vocal)
- fabio Biscarini (vocal)
- Fernando García pérez (vocal)