Tesis doctoral de José Sáez Landete
El estudio de la generación y detección de señales de referencia es fundamental para el posicionado absoluto en codificadores ópticos y en alineadores de máscaras en fotolitografía. En la memoria de tesis doctoral se presenta un análisis de la tecnología actual utilizada para la detección absoluta de la posición en ambos sistemas. En el análisis se ponen de manifiesto las semejanzas y diferencias entre la codificación óptica absoluta y el alineamiento de máscaras, así como la posibilidad de aplicar técnicas de generación de señales similares en los dos ámbitos de aplicación. Se estudian los problemas de la tecnología existente en los dos campos y se proponen nuevas técnicas para la generación de señales de referencia, eliminando las restricciones que hasta ahora existían . También se proponen nuevos métodos de detección de la señal que resuelven el problema que provoca la difracción de la luz en su propagación en la etapa absoluta de los codificadores ópticos.
Datos académicos de la tesis doctoral «Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución«
- Título de la tesis: Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución
- Autor: José Sáez Landete
- Universidad: Complutense de Madrid
- Fecha de lectura de la tesis: 10/07/2006
Dirección y tribunal
- Director de la tesis
- Eusebio Bernabeu Martinez
- Tribunal
- Presidente del tribunal: Alda serrano Francisco javier
- tomas Morlanes calvo (vocal)
- Manuel Quintanilla monton (vocal)
- ferran Laguarta bertran (vocal)